真空電漿清洗機真空腔里材料的反應(yīng)機理和里面的結(jié)構(gòu)：
      真空電漿清洗機其核心原理是：清洗試樣表面，并對試品進行表面活化處理，增加樣品的親水性；即使等離子體是一門新興學科，但它已被廣泛應(yīng)用于科研的各行各業(yè)，涵蓋材料學、光學、電子、醫(yī)學、環(huán)境生物學等各行各業(yè)，主要運用于以下實驗：
1：探討材質(zhì)、表面改性、親水作用、黏結(jié)和枝接實驗；
2：材料研究，用于原材料表面改性，達到疏水效果，俗稱荷葉效應(yīng)。

      真空電漿清洗機的關(guān)鍵是plasma中活性顆粒的原理“激活作用”除去物體表面污垢。腔內(nèi)設(shè)置兩個電極生成電場，用真空腔提取相應(yīng)的真空值。隨著氣體越來越薄，分子之間的距離越來越遠，分子或離子之間的自由運動距離越來越大。在電場的作用下，它們之間的碰撞產(chǎn)生等離子體，等離子體的活性越來越高。它的能量會破壞幾乎所有的化學鍵，并在任何暴露的表面引起反應(yīng)。O2等離子體氧化性高，能氧化光刻膠反應(yīng)產(chǎn)生的氣體，達到清洗效果；蝕刻氣等離子體具有良好的各向異性，能滿足蝕刻的需要。采用真空電漿清洗機處理技術(shù)的真空等離子清洗設(shè)備，會產(chǎn)生輝光，因此稱為輝光放電處理。
真空電漿清洗機清洗樣品的表面，并對其進行表面活化處理，通過加入特殊氣體及處理工藝，可使試品達到親水、疏水效果。
下面講解下真空電漿清洗機它的主要結(jié)構(gòu)功能：
1、引進America霍尼韋爾真空壓力傳感器，使機器具有可靠的基礎(chǔ)，實現(xiàn)對機器的智能控制;
2、采用艙體，管道，閥體均采用不銹鋼材料，稱為全防腐型;
3、本儀器實現(xiàn)了手動、自動兩種工作模式任意切換;
4、本裝置實現(xiàn)了程序化設(shè)計，程序預(yù)先編輯好，儀器就能自動完成實驗;
5、不需任何消耗品，使用成本低，多氣路可單獨控制;
6、不需特別保養(yǎng)，在日常使用中可使儀器保持清潔;
7、有3種自動模式供用戶選擇，并可同時進行手動操作。